Inhalt
Mikrosystemtechnik
| Dozent | Prof. Dr.-Ing. Jian Song |
| Fachnummer | 6634 |
| Kurzbezeichnung | MS |
| Studiensemester | 2 |
| Umfang in SWS | 2V 1Ü 1P |
| Credits | 6 |
| Voraussetzungen | |
| Folgeveranstaltung |
Inhalte
- Physikalische Grundlagen
- Systemintegration
- Anwendungen und Fertigungstechnologien mikrotechnischer Sensorik und Aktorik
- In Laborversuchen werden die Technologien und Arbeit mit der Mikrosystemtechnik näher kennen gelernt.
